1. Integruotas optinio metalografinio mikroskopo ir atominės jėgos mikroskopo dizainas, galingos funkcijos
2. Jis turi ir optinio mikroskopo, ir atominės jėgos mikroskopo vaizdavimo funkcijas, kurios abi gali veikti tuo pačiu metu, nepaveikdamos viena kitos
3. Tuo pačiu metu jis turi optinio dvimačio matavimo ir atominės jėgos mikroskopo trimačio matavimo funkcijas
4. Lazerio aptikimo galvutė ir mėginio nuskaitymo pakopa yra integruotos, konstrukcija yra labai stabili, o anti-trukdymas yra stiprus
5. Tikslus zondo padėties nustatymo įtaisas, lazerio taško išlygiavimo reguliavimas yra labai lengvas
6. Vienos ašies pavaros pavyzdys automatiškai artėja prie zondo vertikaliai, kad adatos galas būtų nuskaitomas statmenai mėginiui
7. Išmanusis varikliu valdomo slėgio pjezoelektrinio keraminio automatinio aptikimo adatos padavimo metodas apsaugo zondą ir mėginį
8. Itin didelio padidinimo optinė padėties nustatymo sistema, skirta tiksliai nustatyti zondo ir mėginio nuskaitymo sritį
9. Integruotas skaitytuvo netiesinės korekcijos vartotojo redaktorius, nanometrų charakteristikos ir matavimo tikslumas geresnis nei 98 %
Specifikacijos:
Darbinis režimas | lietimo režimas, lietimo režimas |
Pasirenkamas režimas | Trintis / šoninė jėga, amplitudė / fazė, magnetinė / elektrostatinė jėga |
jėgos spektro kreivė | FZ jėgos kreivė, RMS-Z kreivė |
XY nuskaitymo diapazonas | 50 * 50 um, pasirinktinai 20 * 20 um, 100 * 100 um |
Z nuskaitymo diapazonas | 5um, pasirinktinai 2um, 10um |
Nuskaitymo skiriamoji geba | Horizontaliai 0,2 nm, vertikaliai 0, 05 nm |
Mėginio dydis | Φ≤68mm, H≤20mm |
Etapo kelionės pavyzdys | 25*25mm |
Optinis okuliaras | 10X |
Optinis objektyvas | 5X/10X/20X/50X plano apochromatiniai tikslai |
Apšvietimo būdas | LE Kohler apšvietimo sistema |
Optinis fokusavimas | Grubus rankinis fokusavimas |
Fotoaparatas | 5 MP CMOS jutiklis |
ekranas | 10,1 colio plokščiaekranis ekranas su grafika susijusia matavimo funkcija |
Nuskaitymo greitis | 0,6-30 Hz |
Nuskaitymo kampas | 0-360° |
Darbo aplinka | Windows XP/7/8/10 operacinė sistema |
Ryšio sąsaja | USB2.0/3.0 |